aquecimento do reator mocvd com indução
Reatores de deposição de vapor químico metalorgânico de aquecimento por indução (MOCVD) são uma tecnologia que visa melhorar a eficiência do aquecimento e reduzir o acoplamento magnético prejudicial com a entrada de gás. Os reatores MOCVD de aquecimento por indução convencionais geralmente têm a bobina de indução localizada fora da câmara, o que pode resultar em aquecimento menos eficiente e potencial interferência magnética com o sistema de fornecimento de gás. Recente… Saiba mais